电容式压力变送器通过检测中心测量膜片与两侧测量室壁之间的电容变化来判别膜片受压位移状况。

    扩散硅压力变送器有两类，其中一类是将扩散硅电桥植入到检测中心测量膜片上来判别膜片受压位移状况。
以上两种由于是直接测量中心测量膜片（被测压力直接作用处）的位移。且测量膜片可以加上巨大的预应张力，使得金属膜片位移所导致的应力影响极小。所以精度较高。

    另一种扩散硅压力变送器是将测量膜片感受的力传导到一个扩散硅传感器，通过扩散硅传感器的输出来得出被测压力。由于压力不是作用在传感器上而是加了一次传递，所以相对精度低一些，且扩散硅元件品质不一（多数变送器厂家不是自己生产扩散硅元件）导致质量差别很大。但是，但是价格可以很低。

    现在电容式压力变送器与扩散硅压力变送器在基本线性精度上面已经基本可以达到同一个级别了，电容式最高精度可以达到0.075%级，而硅压力变送器可以达到0.05%级。

    但是由于电容式变送器静压影响量很大，所以一般不适合用于静压大的场合。而硅变送器却没有这方面的问题。

    但是在核电厂环境中，由于硅变送器的敏感元件的特殊性，其会发生损坏，所以一般核电厂多用电容式压力变送器。

    另外问一下，你是特指压力变送器，还是泛指压力变送器与差压变送器。如果特指压力变送器的话，还有一个问题不容忽视，一般硅压力变送器由于大气端一般直接与敏感元件的参比腔连接，在大气具有腐蚀性时，这种硅压力变送器并不适合使用，如需要使用需要经过特殊设计，目前有部分厂家有类似的特殊变送器。而电容式由于两边都会充灌液和隔离膜片所以一般不受此问题影响。